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半導體制造過程的要求非常高，對有灰塵存在的環境是非常敏感的。無塵室技術可以實現很好的環境控制和有效的過濾作用，使得制造過程不受污染或污染度極低。這為半導體制造工藝的高品質、高效率提供了無限的可能性。

潔凈室（Clean Room）：具體的功能是控制微粒污染。Fab廠往往按照ISO 14644-1的標準建立，具體分成一級、二級、三級到九級等，等級數越低，顆粒越少。

不同制程對應的潔凈度要求？

在MEMS廠中，不同工藝車間對應的潔凈度等級通常根據ISO 14644標準進行分類和評估。

光刻車間：光刻車間通常是MEMS制造中最關鍵的一個工藝步驟，因此對潔凈度要求相對較高。一般來說，光刻車間的潔凈度等級可能達到ISO 14644-1標準中的Class 5（百級）或更高級別。

沉積/刻蝕車間：在沉積和蝕刻工藝中，潔凈度要求相對較高，以確保沉積和蝕刻過程中不會引入外部雜質。這些車間通常符合ISO 14644-1標準中的Class 5（百級）至Class 6（千級）級別。

清洗車間：清洗車間用于清洗制造過程中的器件和基板，以去除殘留的雜質和化學物質。由于潔凈度要求較高，以確保清潔過程不會引入新的污染，因此清洗車間通常符合ISO 14644-1標準中的Class 5（百級）至Class 6（千級）級別。

封裝車間：封裝車間用于對MEMS器件進行封裝，保護器件并提供外部連接。封裝車間的潔凈度要求相對較低，因此可能符合ISO 14644-1標準中的Class 6（千級）至Class 7（萬級）。

測試車間：測試車間用于對封裝后的MEMS器件進行性能測試和質量控制。由于測試過程不會直接影響器件的制造和封裝，因此潔凈度要求相對較低，通常符合ISO 14644-1標準中的Class 7（萬級）或更低級別。

半導體潔凈室的主要目的是提供一個高度清潔的生產環境，以減少產品受到污染的風險。以下是潔凈室的幾個重要潔凈要求：

01

便攜式激光塵埃粒子計數器

lighthouse便攜式激光塵埃粒子計數器Solair系列1100/3100/3350/5100等，其中lighthouse Solair1100 是行業內能夠持續使用的 28.3 升 0.1微米感應度的便攜式粒子計數器，是半導體行業應用最為廣泛的一款型號。

02

浮游微生物采樣器

lighthouse浮游菌采樣器，基于安德森撞擊原理，撞擊速度達19m/s，適用于無塵室和無菌環境的微生物采集。連續和周期性的采樣，可以完全控制采樣周期和間隔。高壓撞擊頭部和消隱不銹鋼外殼，確保ActiveCount100不會污染使用環境。使用可選的高壓氣體取樣器（高壓擴散器），可直接采集壓縮空氣的浮游菌。

03

氣流流型檢測儀

北京中邦興業自主研發OCEAN ONE氣流流型檢測儀，主要應用于觀察在工作區域里面氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設備對氣流的影響。

根據ISO14644-3 及新GMP對潔凈廠房驗收需要對氣流方向進行評價。OCEAN ONE氣流流形儀可以產生高濃度水霧氣（粒徑范圍：集中度80%以上），高可見度及絕對無污染。當水霧氣在潔凈室內散發后，沒有可測的殘留物質。OCEAN ONE可適用于半導體，制藥類潔凈車間。