公司動(dòng)態(tài)

半導體潔凈室環(huán)境控制(塵埃粒子/微生物/氣流)
2024-05

半導體制造過(guò)程的要求非常高,對有灰塵存在的環(huán)境是非常敏感的。無(wú)塵室技術(shù)可以實(shí)現很好的環(huán)境控制和有效的過(guò)濾作用,使得制造過(guò)程不受污染或污染度極低。這為半導體制造工藝的高品質(zhì)、高效率提供了無(wú)限的可能性。

潔凈室的標準?

潔凈室(Clean Room):具體的功能是控制微粒污染。Fab廠(chǎng)往往按照ISO 14644-1的標準建立,具體分成一級、二級、三級到九級等,等級數越低,顆粒越少。

不同制程對應的潔凈度要求?

在MEMS廠(chǎng)中,不同工藝車(chē)間對應的潔凈度等級通常根據ISO 14644標準進(jìn)行分類(lèi)和評估。

光刻車(chē)間:光刻車(chē)間通常是MEMS制造中最關(guān)鍵的一個(gè)工藝步驟,因此對潔凈度要求相對較高。一般來(lái)說(shuō),光刻車(chē)間的潔凈度等級可能達到ISO 14644-1標準中的Class 5(百級)或更高級別。

沉積/刻蝕車(chē)間:在沉積和蝕刻工藝中,潔凈度要求相對較高,以確保沉積和蝕刻過(guò)程中不會(huì )引入外部雜質(zhì)。這些車(chē)間通常符合ISO 14644-1標準中的Class 5(百級)至Class 6(千級)級別。

清洗車(chē)間:清洗車(chē)間用于清洗制造過(guò)程中的器件和基板,以去除殘留的雜質(zhì)和化學(xué)物質(zhì)。由于潔凈度要求較高,以確保清潔過(guò)程不會(huì )引入新的污染,因此清洗車(chē)間通常符合ISO 14644-1標準中的Class 5(百級)至Class 6(千級)級別。

封裝車(chē)間:封裝車(chē)間用于對MEMS器件進(jìn)行封裝,保護器件并提供外部連接。封裝車(chē)間的潔凈度要求相對較低,因此可能符合ISO 14644-1標準中的Class 6(千級)至Class 7(萬(wàn)級)。

測試車(chē)間:測試車(chē)間用于對封裝后的MEMS器件進(jìn)行性能測試和質(zhì)量控制。由于測試過(guò)程不會(huì )直接影響器件的制造和封裝,因此潔凈度要求相對較低,通常符合ISO 14644-1標準中的Class 7(萬(wàn)級)或更低級別。

半導體潔凈室潔凈要求

半導體潔凈室的主要目的是提供一個(gè)高度清潔的生產(chǎn)環(huán)境,以減少產(chǎn)品受到污染的風(fēng)險。以下是潔凈室的幾個(gè)重要潔凈要求:

1. 塵埃粒子數:
半導體潔凈室需要控制塵埃粒子的數量,以防止對產(chǎn)品造成不良影響。根據不同的工藝要求,潔凈室內的塵埃粒子數應控制在一定的范圍內。一般來(lái)說(shuō),ISO 14644-1級標準要求每立方米空氣中直徑大于0.1微米的塵埃粒子數不超過(guò)3500個(gè)。

01
便攜式激光塵埃粒子計數器
lighthouse便攜式激光塵埃粒子計數器Solair系列1100/3100/3350/5100等,其中lighthouse Solair1100 是行業(yè)內能夠持續使用的 28.3 升 0.1微米感應度的便攜式粒子計數器,是半導體行業(yè)應用最為廣泛的一款型號。

2. 微生物數:
潔凈室還需要控制微生物的數量,以防止微生物對產(chǎn)品造成污染。一般情況下,潔凈室內的微生物數應控制在每立方米空氣中不超過(guò)500個(gè)。

02
浮游微生物采樣器
lighthouse浮游菌采樣器,基于安德森撞擊原理,撞擊速度達19m/s,適用于無(wú)塵室和無(wú)菌環(huán)境的微生物采集。連續和周期性的采樣,可以完全控制采樣周期和間隔。高壓撞擊頭部和消隱不銹鋼外殼,確保ActiveCount100不會(huì )污染使用環(huán)境。使用可選的高壓氣體取樣器(高壓擴散器),可直接采集壓縮空氣的浮游菌。

3. 溫度和濕度:
半導體潔凈室的溫度和濕度需要控制在一定的范圍內,以保證產(chǎn)品的穩定性和可靠性。一般情況下,潔凈室的溫度應控制在22±2℃,濕度應控制在55±5%。

3、室內的噪聲級(空態(tài)):
不應大于65dB(A)

4、潔凈室氣流
垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。

03
氣流流型檢測儀
北京中邦興業(yè)自主研發(fā)OCEAN ONE氣流流型檢測儀,主要應用于觀(guān)察在工作區域里面氣流的運動(dòng)模式,同時(shí)也可以觀(guān)察儀器設備對氣流的影響。

根據ISO14644-3 及新GMP對潔凈廠(chǎng)房驗收需要對氣流方向進(jìn)行評價(jià)。OCEAN ONE氣流流形儀可以產(chǎn)生高濃度水霧氣(粒徑范圍:集中度80%以上),高可見(jiàn)度及絕對無(wú)污染。當水霧氣在潔凈室內散發(fā)后,沒(méi)有可測的殘留物質(zhì)。OCEAN ONE可適用于半導體,制藥類(lèi)潔凈車(chē)間。

5、潔凈室壓差
與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

如果您有關(guān)于半導體、生物制藥潔凈室環(huán)境檢測、質(zhì)控方面的問(wèn)題或需求,可隨時(shí)聯(lián)系中邦興業(yè),專(zhuān)業(yè)技術(shù)工程師可隨時(shí)幫您解答。



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