公司動(dòng)態(tài)

半導體工業(yè)超純水標準及水質(zhì)顆粒物檢測(液體粒子計數器)儀器選型詳解
2024-06

在復雜芯片、半導體材料等高精尖技術(shù)的發(fā)展之中,超純水設備其實(shí)起到了很大的助力作用。當芯片的精密度越來(lái)越高,超純水作為生產(chǎn)環(huán)節中的關(guān)鍵角色,對水質(zhì)純度的要求也越來(lái)越高。而相應的制備技術(shù)也迅速發(fā)展起來(lái),已成為工業(yè)用水中應用廣泛的一個(gè)核心門(mén)類(lèi)。

純水定義

純水是一種無(wú)機化合物,化學(xué)式為H2O,具有一定結構的液體。在液態(tài)水中,水的分子并不是以單個(gè)分子形式存在,而是有若干個(gè)分子以氫鍵締合形成水分子簇(H2O),因此水分子的取向和運動(dòng)都將受到周?chē)渌肿拥拿黠@影響。

從學(xué)術(shù)角度講,純水是指化學(xué)純度極高的水,其主要應用在生物醫藥、食品餐飲、化學(xué)化工、精密制造、冶金電力、航空航天、電子半導體等領(lǐng)域,目前尤以電子半導體領(lǐng)域對純水水質(zhì)要求最為嚴格。

半導體行業(yè)超純水水質(zhì)標準

半導體工業(yè)需要大量的超純水,隨著(zhù)半導體工業(yè)的發(fā)展,對超純水水質(zhì)的要求日趨嚴格。當前半導體工業(yè)的超純水的水質(zhì)指標要求,甚至嚴格于我國國標電子水的最高標準要求,如微粒子,TOC,電阻率,溶解氧等。因此,相比于其他行業(yè)的超純水,需要更加嚴格的深度處理技術(shù),如深度處理顆粒物,有機物,深度脫鹽,深度脫氣技術(shù)等等。其部分參考標準如下:

執行GB_T 11446.1-2013電子級水水質(zhì)標準。電子級水的定義為電子和半導體工藝過(guò)程中所用的高純水。我國電子級水的標準將電子級水分為四個(gè)級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級,該標準是參照美國ASTM電子級標準而制定的。電子級水的水質(zhì)標準中所規定的各項指標的主要依據有:1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現狀。

中國國家電子級超純水規格GB/T11446-1997

 

超純水水質(zhì)標準簡(jiǎn)易版理解

目前國內電子半導體行業(yè)用水普遍執行電子級水EW-Ⅰ級標準,或者更嚴格美國ASTM D5127-2013(2018)中Type E-1.2/1.3超純水水質(zhì)標準

 

美國ASTM電子及半導體工業(yè)用超純水水質(zhì)標準

為什么半導體行業(yè)對水質(zhì)要求這么高

半導體行業(yè)用水水質(zhì)中,電阻率,微粒子,氣泡(溶解氧,溶解氮)和TOC是非常重要的指標,略微差異,可能導致半導體元器件生產(chǎn)過(guò)程的產(chǎn)品質(zhì)量和合格率的下降,具體的影響如下:

TOC(總有機碳):影響光刻精度,影響芯片質(zhì)量。

DO(溶解氧):滋生細菌,形成氧化層,影響芯片質(zhì)量。

Boron(硼元素):影響P-N結,影響芯片質(zhì)量。

Silica(硅元素):造成晶圓水斑,影響芯片質(zhì)量。

金屬離子:影響晶圓原子密度,影響芯片質(zhì)量。

微粒:影響光刻精度,導電微粒會(huì )直接導致短路。

詳細見(jiàn)下圖??傊?,水不夠純凈,就做不成合格的高端芯片。芯片越高端,所需純水的純度就越高。

半導體行業(yè)超純水應用場(chǎng)景

在半導體生產(chǎn)中,超純水可以應用于晶圓沖洗,化學(xué)品稀釋?zhuān)瘜W(xué)機械研磨,潔凈室環(huán)境的加濕源等場(chǎng)合,超純水的品質(zhì)與半導體的良品率直接相關(guān),隨著(zhù)半導體元器件尺寸縮小與精細度上升,超純水水質(zhì)技術(shù)要求也在不斷上升。

半導體工業(yè)芯片制造的主要流程如下

超純水在各流程中的基本作用如下:

1. 晶圓制備:超純水用于清潔、去除顆粒和化學(xué)雜質(zhì),確保晶圓表面的潔凈度,從而降低制造缺陷。

2. 光刻工藝:在半導體光刻工藝中,超純水用于洗凈掩膜板、鏡片和晶圓,以確保圖案的精確重復和光刻質(zhì)量。

3. 刻蝕和腐蝕:超純水在半導體刻蝕和腐蝕過(guò)程中用于冷卻和清洗,以維護工藝的精確性和一致性。

4. 化學(xué)機械拋光(CMP):CMP過(guò)程中使用超純水來(lái)冷卻、清洗和運輸晶圓,以確保CMP過(guò)程中表面的平坦性和質(zhì)量。

5.電子化學(xué)沉積(ECD):超純水用于清洗金屬薄膜、電解質(zhì)和其他材料,以確保電子化學(xué)沉積過(guò)程的準確性和一致性。

6.設備冷卻和冷卻塔:超純水還用于半導體設備的冷卻,以保持設備在適宜的工作溫度下運行。

7.研究和開(kāi)發(fā):半導體研究和開(kāi)發(fā)實(shí)驗通常需要高純度水來(lái)確保實(shí)驗的準確性和可重復性。

由于不同產(chǎn)業(yè)對水質(zhì)的要求也不同,高階半導體需要檢測≦0.1um,而其他產(chǎn)業(yè)則需要檢測0.1~200um不等的微粒等要求,北京中邦興業(yè)可以提供一系列相對應的微粒子量測與監控產(chǎn)品,廣泛應用于各種廠(chǎng)務(wù)端和制程端的純水系統,包括:半導體、面板、太陽(yáng)能、LED、電路板等領(lǐng)域。

lighthouse液體微粒子計數器有多款型號,可滿(mǎn)足不同行業(yè)標準。

LS-20
LS-60
Vertex50
LPC在線(xiàn)式

【lighthouse液體粒子計數器型號匯總】

儀器優(yōu)點(diǎn):

Lighthouse液體粒子計數器是一款高精度、高靈敏度的科學(xué)儀器,被廣泛應用于各種領(lǐng)域中。以下是Lighthouse液體粒子計數器的優(yōu)點(diǎn):

1. 高精度測量:采用先進(jìn)的光學(xué)傳感技術(shù),能夠精確測量液體中的微小粒子數量和尺寸,精度可達到納米級別。

2. 快速檢測:能夠快速地對大量液體樣本進(jìn)行檢測,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

3. 多種應用:適用于多種領(lǐng)域,如環(huán)境監測、生物科學(xué)研究、醫藥制造等。

4. 用戶(hù)友好:具有圖形化用戶(hù)界面,易于操作和安裝,同時(shí)提供了多種選項和定制服務(wù)。

5. 可靠耐用:采用高品質(zhì)的材料和零部件,確保儀器的可靠性和耐用性。

6. 易于維護:設計簡(jiǎn)潔,便于日常維護和清潔,降低了運營(yíng)成本。

7. 多種輸出方式:可同時(shí)支持數字和圖表輸出,方便數據記錄和報告編寫(xiě)。

8. 良好的售后服務(wù):提供全面的保修和維護服務(wù),確??蛻?hù)在使用過(guò)程中得到及時(shí)的技術(shù)支持。

lighthouse液體粒子計數器介紹:

北京中邦興業(yè)是美國Lighthouse(萊特浩斯)中國地區的核心代理服務(wù)商。中邦興業(yè)擁有液體粒子計數器樣機,可為客戶(hù)提供免費試用以、樣品免費檢測、儀器校準服務(wù)。我們擁有專(zhuān)業(yè)且完善的技術(shù)服務(wù)能力,確保從該渠道購買(mǎi)的設備和配件都能獲得最專(zhuān)業(yè)及時(shí)的技術(shù)支持和售后服務(wù)。而且,北京中邦興業(yè)直接從美國原廠(chǎng)進(jìn)貨,保證設備的完整性和可靠性,并配有專(zhuān)業(yè)的工程師團隊,隨時(shí)為客戶(hù)提供1對1上門(mén)服務(wù)。



首頁(yè)

關(guān)于我們

產(chǎn)品中心

電話(huà)咨詢(xún)

在线高清不卡无码-一级毛片福利视频免费看-欧美一级久久精品涩爱苍井空哦-无码专区免费福利视频